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寬頻測量範圍和高解析度設定
ZM2371與ZM2372覆蓋了從1 mHz到100 kHz的測量頻率範圍,並擁有5位數的解析度。ZM2376則覆蓋了從1 mHz到5.5 MHz的測量頻率範圍,並擁有6位數的解析度。該產品不但適用於一般電子產品的測量,還可以被應用於電池或其他材料的阻抗特性評估。
高重複性的測量結果
該產品的測試結果為在同樣的測試條件下,對相同的測試物件測試200次的結果。ZM2372的測試結果偏差大概在0.01%以下,而ZM2376則更加優秀。高重複性的測量結果,對於阻抗測量儀來說是十分重要的。
- 測量1 nF的電容
測量條件 (時間: 5 ms, 頻率: 100 kHz, 信號水準: 1 V)200次測量結果的偏差
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說明 |
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ZM2371高精度LCR測試儀規格:
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ZM2371 |
ZM2372 |
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測量頻率 |
1 mHz~100 kHz |
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基本精度 |
0.08 % |
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測量信號電平 |
10 mVrms~5 Vrms |
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測量參數 |
Lp, Ls, Cp, Cs, Rp, Rs, lZl, lYl, G, Q, D, , X, B, Rdc |
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測量速度 |
最快 2 ms |
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接觸檢查功能 |
無 |
有 |
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介面 |
USB, RS-232 |
USB, RS-232, GPIB |
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處理機介面 |
無 |
有 |
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軟體 |
遙控與資料收集用的應用軟體 |
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ZM2371高精度LCR測試儀特點:
高速測量最快2ms
測量時間可切換為RAP、FAST、MED、SLOW、VSLO 共5檔。
如果設定為RAP,則能夠進行2ms(1kHz)、10ms(120Hz)的高速測量,有助於縮短生產線、檢查線中檢查/篩選零部件的時間。
高精度 基本精度0.08%,解析度最高6位數
測量的基本精度為0.08%的高精度,顯示解析度最高6位元數,在主要測量範圍內實現5位數高解析度。能夠滿足生產線、檢查線以及研究開發現場的精度要求。
高解析度 測量頻率 1mHz~100kHz、解析度5位數
能夠在1mHz~100kHz的寬範圍內,用5位數的解析度設定頻率。能夠測量和評價被測樣品詳細的頻率特性。
寬廣的測量信號電平 最大5Vrms
能夠在10mVrms~5Vrms的寬範圍內,用3位數的解析度設定信號電平,便於測量信號電平依存度較強的零部件。
內置DC偏置用電源 最大2.5V
內置0~+2.5V(解析度0.01V)DC偏置用電源。能夠測量電解電容器之類極性零部件和半導體的接合容量。
豐富多彩的功能 配備了各種便捷的使用功能
恒壓/恒流驅動(ALC) 能夠施加恒定的電壓/電流信號,因此對於特性會隨信號電平而變化的被測樣品,也能夠穩定地進行測量。
DC測量
能夠使用DC進行測量,便於測量變壓器、線圈等的直流電阻值。
比較
最多14種分類(BIN)、篩選零部件,也能夠判斷上下限。判斷結果被輸出到處理機介面(ZM2372)。
ZM2371 ∶最多9種,ZM2372∶最多14種
偏差測量
通過預置被測零部件的額定值,能夠顯示與額定值之間的偏差(或者偏差%)
觸發同步驅動
通過接觸零部件後輸出信號,能夠減少測量大容量電容器時的接點損耗。
應用軟體
遙控與資料收集用的應用軟體
配備多種介面
用於自動篩選生產線中零部件的處理機介面*以外,標準配置了GPIB*、RS-232、USB各種介面。能夠容易地構建自動測量系統。(* 限於ZM2372型號) |
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產品規格 |
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ZM2371 |
ZM2372 |
ZM2376 |
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測量參數 |
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主參數 |
|Z|、| Y|、L、C、R、G L,C,R, 的等效電路可指定為並聯 / 串聯 / 自動選擇 |
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副參數 |
Q、D、θ 、X、B、RS、RP、G 、L d、Rdc |
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自動選擇參數 |
主參數,副參數,等效電路均可以自動選擇 |
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測量值表示範圍 ※實際測量·表示範圍受到測量量程和頻率的限制 |
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|Z| |
0.000mΩ~ 999.999MΩ |
|
R(RS,RP,Rdc)、X |
0Ω、±(0.001mΩ~ 999.999MΩ) |
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|Y| |
0.00nS~ 9.99999kS |
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G、B |
0S、±(0.01nS~ 9.99999kS) |
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C(CP,CS) |
0F、±(0.00001pF~ 999.999kF) |
0F、±(0.00001pF ~ 99.9999kF) |
|
L(LP,LS) |
0H、±(0.001nH~ 99.9999GH) |
0H、±(0.00001nH~ 9.99999GH) |
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Q、D |
0、±(0.00001~ 99999.9) |
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θ |
±180.000deg |
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測量條件 |
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測量頻率 |
設定範圍 : 1mHz ~ 100kHz、解析度 5 位數(<10Hz: 1mHz) |
設定範圍 : 1mHz~ 5.5MHz、解析度 6 位數(<100Hz: 1mHz) |
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精度 : ±0.01% |
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測量信號電平 |
設定範圍 : 10mVrms ~ 5.00Vrms、解析度 : 3 位數(<100mVrms: 1mVrms)、開路輸出時的實效值(ZM2376 受到頻率,DC 偏置的限制) |
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精度 : ±(10%+5mVrms) |
精度 : ±(8%+5mVrms)≦1MHz、±(10%+5mVrms)>1MH |
定電壓 / 定電流驅動
(ALC) |
定電壓驅動 / 定電流驅動 / 無效
電壓設定範圍 : 10mVrms ~ 5.00Vrms、設定解析度3 位數(<100mVrms: 1mVrms) 電流設定範圍 : 1μArms ~ 200mArms、設定解析度3 位數(<10μArms: 0.1μArms) |
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輸出阻抗 |
5Ω/25Ω/100Ω 根據設定量程自動選擇(參考值) |
6Ω/25Ω/100Ω 根據設定量程自動選擇(參考值) |
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內部DC 偏置 |
設定範圍 : 0V~ +2.50V、解析度 : 0.01V、精度 : ±(5%+3mV) |
設定範圍 : 0V~ +5V、解析度 : 1mV、受信號電平限制 |
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開路輸出時 可設定 開 / 關 |
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觸發源 |
INT: 內部(自動連續觸發)、MAN: 手動、EXT: 處理器介面、BUS: 遠程控制 |
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觸發延遲時間 |
設定範圍 : 0.000s~ 999.999s、解析度 : 0.001s
(觸發後到可以開始取得信號的時間) |
設定範圍 : 0.0000s~ 999.9999s、解析度 : 0.0001s
(觸發後到可以開始取得信號的時間) |
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觸發同步驅動 |
測量時驅動 / 持續驅動 切換 |
|
測量速度 |
RAPid/FAST/MEDium/SLOW/VerySLOw |
|
測量時間(參考值) |
觸發開始到輸出測量結束信號 EOM 的時間,詳情見別表 ※1、※2 |
|
測量量程 |
8 量程(1MΩ、100kΩ、10kΩ、1kΩ、100Ω、10Ω、1Ω、100mΩ) |
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選擇測量量程 |
自動/ 手動 |
|
測量精度 |
|
基本精度 |
0.08% 詳情見別表(ZM2371/ZM2372: P.5、ZM2376: P.6) |
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其他測量相關功能 |
|
補正功能 |
開路,短路,負荷,電纜長 |
|
接觸檢測 |
 |
接觸試料,檢測出不良(所有 4 個埠)
追加時間 : 4ms(參考值) |
檢測出異常的低容量或,異常低電壓,電流 |
|
平均化 |
1~ 256 次 |
|
偏差測量 |
主 / 副參數 : 可表示成到基準值得偏差,偏差 % |
比較器 |
主參數 : 最大分9 類
可根據原測量值 / 偏差 / 偏差% 分類 |
主參數 : 最大分14 類
可根據原測量值 / 偏差 / 偏差% 分類 |
|
副參數 : 上下限值判斷,可根據原測量值 / 偏差 / 偏差% 分類 |
處理器介面 |
 |
信號隔離 : 通過光電耦合隔離所有的輸出輸入信號輸入信號 : 觸發,鍵鎖,設定 / 指定補正值記憶體
輸出信號 : 判定結果 BIN1-14, 以及其他 |
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複合測量 |
 |
在複數的條件下進行測量和限值判定實施綜合判定
最大步驟數 : 32 |
|
監視顯示 |
載入在被測樣品上電壓值以及電流值 |
|
通訊介面 |
|
USB |
USBTMC、USB1.1 全速 |
|
RS-232 |
通信速度 : 4800bps~ 230400bps |
|
GPIB |
 |
標準規格 : IEEE488.1、IEEE488.2 |
|
LAN(選購) |
 |
10BASE-T、100BASE-TX |
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一般規格 |
電源 |
電壓 : AC100V~ 230V ±10%、且 250V 以下 |
|
頻率 : 50/60Hz、±2Hz |
|
消耗功率 : 70VA 以下 |
消耗功率 : 75VA 以下 |
消耗功率 : 75VA 以下 |
|
過電壓類別 : Ⅱ |
環境條件 |
運行溫度·濕度 : 0 ~ +40℃、5 ~ 85%RH(絕對濕度 1~ 25g/m3、無結露)保存溫度·濕度 : -10~ +50℃、5 ~ 95%RH(絕對濕度 1~ 25g/m3、無結露)
污染度 : 2(屋內使用) |
|
設定 / 補正值記憶體 |
32 組(對於設定值和校正值能夠單獨或同時存儲 / 讀取) |
|
恢復 |
接通電源時,恢復最後的設定和補正值 |
|
外形尺寸 |
260(W)×88(H)×220(D)mm(不包括突起物) |
260(W)×88(H)×280(D)mm(不包括突起物) |
|
重量(本體) |
約 2.0kg |
約 2.1kg |
約 2.4kg |
|
附件 |
電源線套件(3 極、2m)×1、操作說明書 ×1、CD-ROM(應用軟體、樣板程式)×1
LabVIEW 驅動(ZM2371/ZM2372)、IVI 測量器驅動(ZM2376) |
測量時間(參考值)ZM2371/ZM2372
|
測量頻率 |
RAP |
FAST |
MED |
SLOW |
VSLO |
|
120Hz |
10ms |
10ms |
26ms |
126ms |
501ms |
|
1kHz |
2ms |
5ms |
25ms |
121ms |
501ms |
|
10kHz |
3ms |
5ms |
25ms |
122ms |
502ms |
|
100kHz |
3ms |
5ms |
25ms |
122ms |
502ms |
測量時間(參考值)ZM2376
|
測量頻率 |
RAP |
FAST |
MED |
SLOW |
VSLO |
|
120Hz |
10ms |
10ms |
26ms |
126ms |
501ms |
|
1kHz |
2ms |
5ms |
25ms |
121ms |
501ms |
|
10kHz |
2ms |
5ms |
25ms |
121ms |
501ms |
|
100kHz |
2ms |
5ms |
25ms |
121ms |
501ms |
|
1MHz |
2ms |
5ms |
25ms |
121ms |
501ms |
V: 信號電平係數
測量信號電平
[Vrms] |
V( Zr=1MΩ、 100kΩ
( >20kHz )) |
V(Zr=100kΩ
(≦20kHz)、10kΩ
1kΩ、100Ω) |
V
( Zr=10Ω、1Ω |
V
( Zr=100mΩ) |
|
2< 電平≦5 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
3 |
2 |
1.3 |
|
1< 電平≦2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.8 |
1.5 |
1.2 |
|
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|
0.5< 電平<1 |
1.4 |
1.2 |
1.2 |
1.4 |
1.2 |
1.2 |
1.5 |
1.5 |
1.2 |
2.5 |
2 |
1.2 |
|
0.2< 電平≦0.5 |
1.4 |
1.3 |
1.3 |
1.4 |
1.3 |
1.3 |
2.5 |
2.2 |
1.3 |
3 3 1.3
×(0.5Vrms/測量信號電平
[Vrms]) |
|
0.1< 電平≦0.2 |
2.2 |
2.2 |
1.4 |
1.4 |
1.4 |
1.4 |
3.5 3.5 1.4
×(0.2Vrms/測量信號電平
[Vrms]) |
|
0.05< 電平≦0.1 |
2.5 2.5 1.6 |
1.8 |
1.6 |
1.6 |
|
0.02< 電平≦0.05 |
×(0.1Vrms/ |
4 |
2.8 |
2 |
|
0.01≦電平≦0.02 |
測量信號電平[Vrms]) |
8 |
5 |
3 |
各欄中的3 各係數,適用測量速度RAP ,FAST ,MED 的順序測量速度SLOW ,VSLO 的係數與MED 的係數相同。測量速度FAST 在測量頻率≦40Hz 時的係數,適用MED 的係數。
測量速度RAP 在測量頻率≦250Hz 時的係數適用FAST的係數,測量頻率≦40Hz 時的係數適用MED的係數。測量量程Zr=100kΩ時、係數因頻率不同而不同。
對直流阻抗Rdc,V =1 。
●抗測量精度
Zr: 測量量程(100mΩ ~ 1MΩ )
Zx: 阻抗大小|Z| 的測量值,由下式求得。阻抗大小|Z| 的精度±Az[%]
Az = ( A +B×U +Kz +Ky )× V×KT +KB×U 阻抗的相位角θ 的精度 ±Pz[°]
Pz=0.573×Az
※Az 超過10% 時的測量精度為參考值
※ 對小於各測量量程推薦範圍下限1/2 ,或大於上限範圍2 倍的測量值得精度為參考值
式中個參數值如下所示
●U: 比係數
|
Zx |
U |
|
>100Ω |
Zx/Z(r 但,Zx/Zr < 1 的時候為 1) |
|
≦100Ω |
Zr/Zx(但,Zr/Zx < 1 的時候為 1) |
A(上段): 基本係數[%] ·各單元內的數值,左為FAST 時、右為MED/SLOW/VSLO 時的值。
B(下段): 比例係數[%] ·RAP 時:0Hz 時如下表所示。測量頻率 >250Hz 時為FAST 值
的1.3 倍。 測量頻率≦250Hz 時適用FAST 値。
測量量程 Zr |
測量頻率 Hz |
0
( DC) |
99.999
↑
1m |
999.99
↑
100 |
1k |
1.9884k
↑
1.0001k |
10k
↑
1.9885k |
20k
↑
10.001k |
50k
↑
20.001k |
100k
↑
50.001k |
|
1MΩ |
0.14
0.02 |
0.14
0.02 |
0.50
0.30 |
0.50
0.30 |
0.15
0.025 |
0.15
0.025 |
0.12
0.03 |
0.10
0.02 |
0.15
0.03 |
0.15
0.03 |
0.25
0.03 |
0.25
0.03 |
0.25
0.03 |
0.25
0.03 |
 |
 |
 |
 |
|
100kΩ |
0.12
0.01 |
0.12
0.01 |
0.25
0.04 |
0.25
0.04 |
0.15
0.02 |
0.15
0.02 |
0.09
0.01 |
0.09
0.01 |
0.10
0.015 |
0.10
0.015 |
0.20
0.025 |
0.20
0.025 |
0.25
0.03 |
0.25
0.03 |
0.30
0.03 |
0.30
0.03 |
0.80
0.03 |
0.80
0.03 |
|
10kΩ |
0.09
0.01 |
0.09
0.01 |
0.20
0.03 |
0.20
0.03 |
0.15
0.02 |
0.15
0.02 |
0.08
0.01 |
0.07
0.01 |
0.09
0.01 |
0.09
0.01 |
0.16
0.015 |
0.16
0.015 |
0.20
0.02 |
0.20
0.02 |
0.25
0.03 |
0.25
0.03 |
0.80
0.03 |
0.80
0.03 |
|
1kΩ |
0.09
0.01 |
0.09
0.01 |
0.20
0.03 |
0.20
0.03 |
0.15
0.02 |
0.15
0.02 |
0.08
0.01 |
0.07
0.01 |
0.09
0.01 |
0.09
0.01 |
0.16
0.015 |
0.16
0.015 |
0.20
0.02 |
0.20
0.02 |
0.25
0.03 |
0.25
0.03 |
0.30
0.03 |
0.30
0.03 |
|
100Ω |
0.09
0.01 |
0.09
0.01 |
0.20
0.03 |
0.20
0.03 |
0.15
0.02 |
0.15
0.02 |
0.08
0.01 |
0.07
0.01 |
0.09
0.01 |
0.09
0.01 |
0.16
0.015 |
0.16
0.015 |
0.20
0.03 |
0.20
0.02 |
0.25
0.03 |
0.25
0.03 |
0.30
0.03 |
0.30
0.03 |
|
10Ω |
0.12
0.02 |
0.12
0.02 |
0.25
0.03 |
0.25
0.03 |
0.17
0.02 |
0.17
0.02 |
0.13
0.015 |
0.12
0.01 |
0.15
0.02 |
0.15
0.015 |
0.20
0.02 |
0.20
0.017 |
0.40
0.08 |
0.40
0.03 |
0.45
0.08 |
0.45
0.05 |
0.50
0.08 |
0.50
0.06 |
|
1Ω |
0.14
0.05 |
0.14
0.05 |
0.40
0.06 |
0.40
0.06 |
0.30
0.02 |
0.30
0.02 |
0.22
0.025 |
0.20
0.02 |
0.25
0.03 |
0.25
0.02 |
0.35
0.03 |
0.35
0.02 |
0.60
0.20 |
0.60
0.03 |
0.70
0.20 |
0.70
0.08 |
0.90
0.20 |
0.90
0.10 |
|
100mΩ |
0.14
0.30 |
0.14
0.30 |
0.60
0.40 |
0.60
0.40 |
0.30
0.15 |
0.30
0.10 |
0.30
0.06 |
0.30
0.04 |
0.30
0.06 |
0.30
0.04 |
0.40
0.06 |
0.40
0.03 |
0.80
0.80 |
0.60
0.06 |
1.0
0.80 |
0.90
0.10 |
1.0
0.80 |
0.90
0.10 |
“―”為不能使用的範圍
● KB: DC 偏置係數
|
內部DC偏置 |
測量量程 Zr |
KB[%] |
|
頻率≦1kHz |
1kHz< 頻率≦10kHz |
頻率 >10kHz |
|
無效 |
全範圍 |
0 |
0 |
0 |
有效*1 |
1MΩ |
0.005 |
0.02 |
0.02 |
|
100kΩ |
0.002 |
0.003 |
0.01 |
|
100Ω, 1kΩ, 10kΩ |
0.001 |
0.002 |
0.01 |
|
10Ω |
0.01 |
0.01 |
0.02 |
|
100mΩ, 1Ω |
0.05 |
0.1 |
0.2 |
*1: 內部DC 偏置有效,偏置電壓為 0V ,進行開路校正和短路校正時的係數。內部DC 偏置無效時使用校正值,誤差會變大。
對直流阻抗Rdc ,KB =0 。
●KT: 溫度依存系數
|
周圍溫度(T℃) |
Kt |
|
0~+18 |
1+0.1×(18-T) |
|
+18~+28 |
1 |
|
+28~+40 |
1+0.1×(T-28) |
● Kz: 剩餘阻抗係數
|
頻率範圍 |
Kz[%] |
|
DC、頻率≦120Hz |
(0.003+Kc)/Zx[Ω] |
|
120Hz< 頻率≦1kHz |
(0.005+Kc)/Zx[Ω] |
|
1kHz< 頻率≦10kHz |
(0.005+0.002× 頻率[kHz]+Kc)/Zx[Ω] |
|
10kHz< 頻率≦100kHz |
(0.0025× 頻率[kHz]+Kc)/Zx[Ω] |
電纜線長係數 Kc = 0.001× 頻率[kHz ]× (電纜線長[m ])
●其他條件
熱 : 30 分以上
·零補正 : 實施開路補正和短路補正
·電纜線長補正 : 配合連接電纜線實施
·校正週期 1 年
|
電纜線長 |
使用頻率範圍 |
|
0m、1m |
包括DC 的全範圍 |
|
2m |
DC、頻率≦20kHz |
|
|
|
|
4m |
DC、頻率≦1kHz |
不能保證超過這個頻率範圍的測量精度
( 測量量程的推薦範圍)
|
測量量程 |
推薦範圍 |
測量範圍 |
|
1MΩ |
1MΩ~11MΩ |
≧900kΩ |
|
100kΩ |
100kΩ~1.1MΩ |
≧90kΩ |
|
10kΩ |
10kΩ~110kΩ |
≧9kΩ |
|
1kΩ |
1kΩ~11kΩ |
≧0.9kΩ |
|
100Ω |
9Ω~1.1kΩ |
無限制 |
|
10Ω |
0.9Ω~10Ω |
≦11Ω |
|
1Ω |
90mΩ~1Ω |
≦1.1Ω |
|
100mΩ |
9mΩ~100mΩ |
≦110mΩ |
●阻抗測量精度
Zr: 測量量程(100mΩ ~ 1MΩ )
Zx: 阻抗大小|Z| 的測量值,由下式求得。阻抗大小|Z| 的精度±Az[%]
信號電平≦1V Az = ( A +B×U +Kz +Ky )× KT +( KV +KB )× U 信號電平>1V Az = ( A +B×U +Kz +Ky )× KT +KV +KB×U
阻抗的相位角θ 的精度 ±Pz[°] Pz=0.573×Az
● U: 比係數
|
Zx |
U |
|
>100Ω |
Zx/Z(r 但,Zx/Zr < 1 的時候為 1) |
|
≦100Ω |
Zr/Zx(但,Zr/Zx < 1 的時候為 1) |
※Az 超過10% 時的測量精度為參考值
※除去該頻率可測量的最高測量量程和最低測量量程,對小於各測量量程推薦範圍下限1/2 ,或大於上限範圍2 倍的測量值得精度為參考值。
式中個參數值如下所示
※受最小輸出阻抗設定限制,10Ω 量程的設定範圍無限制的時候,適用下列值。
|
Zx |
U |
|
>10Ω |
Zx/Z(r 但,Zx/Zr < 1 的時候為 1) |
|
≦10Ω |
Zr/Zx(但,Zr/Zx < 1 的時候為 1) |
● A (上段): 基本係數[% ]、B (下段): 比例係數[% ] · 測量速度為 MED 、SLOW 、VSLO 時,如下表所示。· 測量速度為 RAP 和 FAST 時,為下表值的 1.1 倍。
|
測量量程 Zr |
測量頻率 Hz |
0
(DC) |
999.99
↑
1m |
1k |
20k
↑ 1.00001k |
50k
↑ 20.0001k |
100k
↑ 50.0001k |
200k
↑ 100.001k |
500k
↑
200.001k |
1M
↑
500.001k |
2M
↑
1.00001M |
3M
↑
2.00001M |
4M
↑
3.00001M |
5M
↑
4.00001M |
|
1MΩ |
0.20
0.15 |
0.15
0.10 |
0.12
0.15 |
0.30
0.30 |

 |

 |

 |

 |

 |

 |

 |

 |

 |
|
100kΩ |
0.06
0.03 |
0.06
0.03 |
0.06
0.03 |
0.06
0.06 |
0.08
0.08 |
0.20
0.08 |
0.20
0.08 |
0.30
0.10 |
1.00
0.30 |

 |

 |

 |

 |
|
10kΩ |
0.06
0.03 |
0.06
0.03 |
0.06
0.03 |
0.06
0.03 |
0.07
0.03 |
0.10
0.04 |
0.15
0.04 |
0.20
0.05 |
0.80
0.10 |
1.50
0.80 |
1.50
1.00 |
1.50
1.20 |
2.00
2.00 |
|
1kΩ |
0.06
0.03 |
0.06
0.03 |
0.05
0.03 |
0.05
0.03 |
0.06
0.03 |
0.10
0.04 |
0.12
0.04 |
0.15
0.05 |
0.30
0.06 |
0.50
0.20 |
0.60
0.30 |
0.60
0.30 |
1.50
0.30 |
|
100Ω |
0.09
0.03 |
0.12
0.02 |
0.05
0.03 |
0.06
0.03 |
0.06
0.03 |
0.06
0.03 |
0.12
0.03 |
0.14
0.03 |
0.15
0.04 |
0.30
0.05 |
0.40
0.08 |
0.40
0.08 |
1.50
0.08 |
|
10Ω |
0.08
0.04 |
0.12
0.06 |
0.10
0.06 |
0.12
0.08 |
0.12
0.08 |
0.12
0.10 |
0.12
0.10 |
0.12
0.20 |
0.12
0.20 |
0.12
0.60 |
0.12
0.80 |
0.15
0.80 |
0.20
2.00 |
|
1Ω |
0.20
0.05 |
0.20
0.05 |
0.20
0.03 |
0.30
0.08 |
0.30
0.08 |
0.30
0.08 |
0.30
0.08 |
0.30
0.50 |
0.30
0.50 |
0.60
0.60 |

 |

 |

 |
|
100mΩ |
0.30
0.40 |
0.30
0.30 |
0.20
0.20 |
0.30
0.40 |
0.30
0.40 |
0.40
0.40 |
0.40
0.40 |
0.50
1.00 |
0.50
1.00 |

 |

 |

 |

 |
不保證“—”部分的測量精度。測量頻率 1MHz 以下,輸出阻抗 25Ω、6Ω使用 100Ω量程時,為基本係數 A 的 1.5 倍。
●KV: 信號電平係數
※對直流阻抗 Rdc,KV=0。信號電平<100mVrms 的時候,不保證測量精度。
頻率 >2MHz 時,不保證 10kΩ量程,信號電平 >2Vrms 的測量精度。其他的測量參數如下表所示。
|
測量量程 Zr |
信號電平 [Vrms] |
200m
↑ 100m |
500m
↑ 201m |
999m
↑ 501m |
1 |
2
↑ 1.01 |
5
↑ 2.01 |
|
1MΩ |
頻率≦120Hz |
0.40 |
0.10 |
0.10 |
0 |
0.10 |
0.15 |
|
120Hz< 頻率≦100kHz |
0.40 |
0.10 |
0.10 |
0 |
0.10 |
0.20 |
100kΩ |
頻率≦120Hz |
0.10 |
0.02 |
0.02 |
0 |
0.03 |
0.10 |
|
120Hz< 頻率≦100kHz |
0.20 |
0.05 |
0.05 |
0 |
0.02 |
0.10 |
|
100kHz< 頻率 |
4.00 |
1.00 |
0.10 |
0 |
0.10 |
0.15 |
10kΩ |
頻率≦120Hz |
0.10 |
0.02 |
0.02 |
0 |
0.03 |
0.10 |
|
120Hz< 頻率≦100kHz |
0.10 |
0.02 |
0.02 |
0 |
0.03 |
0.20 |
|
100kHz< 頻率 |
4.00 |
1.00 |
0.10 |
0 |
0.10 |
0.15 |
1kΩ |
頻率≦120Hz |
0.10 |
0.01 |
0.01 |
0 |
0.03 |
0.10 |
|
120Hz< 頻率≦100kHz |
0.10 |
0.02 |
0.02 |
0 |
0.03 |
0.20 |
|
100kHz< 頻率 |
0.80 |
0.10 |
1.00 |
0 |
0.30 |
1.50 |
100Ω |
頻率≦120Hz |
0.10 |
0.03 |
0.03 |
0 |
0.03 |
0.15 |
|
120Hz< 頻率≦100kHz |
0.15 |
0.05 |
0.05 |
0 |
0.10 |
0.20 |
|
100kHz< 頻率 |
0.20 |
0.05 |
0.05 |
0 |
0.50 |
3.00 |
10Ω |
頻率≦120Hz |
0.20 |
0.03 |
0.01 |
0 |
0.04 |
0.04 |
|
120Hz< 頻率≦100kHz |
0.15 |
0.05 |
0.05 |
0 |
0.10 |
0.10 |
|
100kHz< 頻率 |
0.20 |
0.05 |
0.05 |
0 |
0.10 |
1.00 |
1Ω |
頻率≦120Hz |
0.40 |
0.10 |
0.02 |
0 |
0.03 |
0.03 |
|
120Hz< 頻率≦100kHz |
0.10 |
0.01 |
0.01 |
0 |
0.01 |
0.01 |
|
100kHz< 頻率 |
0.10 |
0.01 |
0.01 |
0 |
0.01 |
0.20 |
100mΩ |
頻率≦120Hz |
3.50 |
0.80 |
0.50 |
0 |
0.03 |
0.03 |
|
120Hz< 頻率≦100kHz |
1.50 |
0.20 |
0.10 |
0 |
0.01 |
0.01 |
|
100kHz< 頻率 |
1.50 |
0.20 |
0.10 |
0 |
0.01 |
0.01 |
●KB: DC 偏置係數
※對直流阻抗Rdc ,KB=0[%] 。內部DC 偏置無效的時候KB=0[%] 。內部DC 偏置電壓有效時,KB=0[%] 的值如下表所示
|
測量量程 Zr |
測量頻率 Hz |
0
( DC) |
120
↑ 1m |
20k
↑ 120.001 |
100k
↑ 20.0001k |
1M
↑ 100.001k |
5.5M
↑ 1.00001M |
|
1MΩ |
0 |
0.02 |
0.02 |
 |
 |
 |
|
100kΩ |
0 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
 |
|
10kΩ |
0 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.20 |
|
1kΩ |
0 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.20 |
|
100Ω |
0 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.30 |
|
10Ω |
0 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
0.20 |
0.50 |
|
1Ω |
0 |
 |
0.20 |
0.20 |
0.50 |
0.50 |
|
100mΩ |
0 |
 |
 |
 |
 |
 |
●Ky: 剩餘導納係數
※電纜線為0m 的時候,如下表所示。頻率超過20kHz, 使用延長電纜線(1m 、2m 或者4m )的時候,為下值的10 倍。
|
頻率範圍 |
Ky[%] |
|
DC、頻率≦50kHz |
Zx[Ω]/(2×107) |
|
50kHz< 頻率≦500kHz |
Zx[Ω]×(頻率 [kHz])2/(2×1010) |
|
500kHz< 頻率≦5.5MHz |
Zx[Ω]/(1×105) |
●Kz: 剩餘阻抗係數
|
頻率範圍 |
Kz[%] |
|
DC、頻率≦20kHz |
(0.02+Kc)/Zx[Ω] |
|
20kHz< 頻率≦100kHz |
(0.05+Kc)/Zx[Ω] |
|
100kHz< 頻率≦5.5MHz |
(0.5+Kc)/Zx[Ω] |
●Kc: 電纜長係數
|
頻率範圍 |
Kc[%] |
|
DC、頻率≦1kHz |
0.01×(電纜線長 [m]) |
|
1kHz< 頻率≦100kHz |
0.2×(電纜線長 [m]) |
|
100kHz< 頻率≦1MHz |
0.5×(電纜線長 [m])2 |
|
1MHz< 頻率 |
20×(電纜線長 [m])2 |
※測量頻率和信號電平受電纜線長度的限制
|
電纜線長 |
使用頻率範圍 |
適用信號電平 |
|
0m |
包括DC 的全範圍 |
全範圍 |
|
1m |
DC、頻率≦2MHz |
全範圍 |
|
2m |
DC、頻率≦2MHz |
全範圍 |
|
4m |
DC、頻率≦1MHz |
DC、頻率≦500kHz 時,全範圍頻率 >500kHz 時≦2Vrms |
不保證超出這個範圍的頻率,信號電平的測量精度
●KT: 溫度依存係數
|
周圍溫度(T[℃]) |
KT |
|
頻率≦20kHz |
頻率 >20kHz |
|
0~+18 |
1+0.1×(18-T) |
1+0.15×(18-T) |
|
+18~+28 |
1 |
1 |
|
+28~+40 |
1+0.1×(T-28) |
1+0.15×(T-28) |
●其他條件
·預熱 : 30 分以上 · 零補正 : 實施開路補正和短路補正
·電纜線長補正 : 配合連接電纜線實施 · 校正週期 1 年
〈測量量程的推薦範圍〉
|
測量量程 |
推薦範圍 |
測量範圍 |
輸出阻抗 |
|
1MΩ |
1MΩ~11MΩ |
≧900kΩ |
100Ω |
|
100kΩ |
100kΩ~1.1MΩ |
≧90kΩ |
100Ω |
|
10kΩ |
10kΩ~110kΩ |
≧9kΩ |
100Ω |
|
1kΩ |
1kΩ~11kΩ |
≧0.9kΩ |
100Ω |
|
100Ω |
9Ω~1.1kΩ |
无限制 |
100Ω* |
|
10Ω |
0.9Ω~10Ω |
≦11Ω |
100Ω* |
|
1Ω |
90mΩ~1Ω |
≦1.1Ω |
25Ω/6Ω |
|
100mΩ |
9mΩ~100mΩ |
≦110mΩ |
25Ω/6Ω |
受頻率和信號電平影響,輸出阻抗可能會受限制。
*受最小輸出電阻的設定影響,在 10Ω 量程和 100Ω 量程,輸出阻抗可能會變成 25Ω 或者 6Ω 。這時 10Ω 量程和 100Ω 量程的推薦範圍和測量範圍如下
|
測量量程 |
推薦範圍 |
測量範圍 |
|
100Ω |
100Ω~1.1kΩ |
≧90Ω |
|
10Ω |
0.9Ω~110Ω |
無限制 |
|
|
 |
|